原子在受到熱或電的激發(fā)時，由基態(tài)躍遷到激發(fā)態(tài)，返回到基態(tài)時，發(fā)射出特征光譜叫做原子發(fā)射光譜，而根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的方法稱為原子發(fā)射光譜法。ICP-AES的特點是可以進行多元素檢測，選擇性高，檢出限低，準確度高。
原子熒光光譜是基于基態(tài)原子吸收特定波長光輻射的能量而被激發(fā)至高能態(tài)，受激原子在去激發(fā)過程中發(fā)射出的一定波長的光輻射，根據(jù)這一原理制成的可以檢測元素含量的儀器叫原子熒光光譜儀（光度計），比如SK-2003A,線性寬度大于三個數(shù)量級，重復性小于百分之0.6%。
原子吸收光譜是基于氣態(tài)的基態(tài)原子外層電子對紫外光和可見光范圍的相對應原子共振輻射線的吸收強度來定量被測元素含量為基礎的分析方法，是一種測量特定氣態(tài)原子對光輻射的吸收的方法。
